Plasma and low-k dielectric materials

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Plasma and low-k dielectric materials

interaction and application in advanced semiconductor technology

Junjing Bao

Détails de l'édition

ISBN-13
9783639153019
EAN
9783639153019
Éditeur
VDM Verlag Dr. Müller (Saarbrücken)
Date de publication
1 janvier 2009
Langue
eng
Pages
195
Dimensions
22 cm
Provenance des données
  • dimensions BnF Catalogue général · 23 juillet 2026
  • language BnF Catalogue général · 23 juillet 2026
  • page_count BnF Catalogue général · 23 juillet 2026
  • publication_date BnF Catalogue général · 23 juillet 2026
  • subtitle BnF Catalogue général · 23 juillet 2026