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EUV lithography

Vivek Bakshi

Détails de l'édition

ISBN-13
9780819469649
EAN
9780819469649
Éditeur
SPIE Press (Bellingham, Wash.)
Date de publication
1 janvier 2007
Langue
eng
Pages
673
Dimensions
27 cm
Provenance des données
  • dimensions BnF Catalogue général · 23 juillet 2026
  • language BnF Catalogue général · 23 juillet 2026
  • page_count BnF Catalogue général · 23 juillet 2026
  • publication_date Open Library · 2 août 2026